(19)
(11) EP 3 769 160 A1

(12)

(43) Date de publication:
27.01.2021  Bulletin  2021/04

(21) Numéro de dépôt: 19712197.3

(22) Date de dépôt:  21.03.2019
(51) Int. Cl.: 
G04B 17/06(2006.01)
G04B 17/22(2006.01)
(86) Numéro de dépôt:
PCT/EP2019/057160
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2019/180177 (26.09.2019 Gazette  2019/39)
(84) Etats contractants désignés:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Etats d'extension désignés:
BA ME
Etats de validation désignés:
KH MA MD TN

(30) Priorité: 21.03.2018 EP 18163053

(71) Demandeur: Nivarox-FAR S.A.
2400 Le Locle (CH)

(72) Inventeurs:
  • CUSIN, Pierre
    1423 Villars-Burquin (CH)
  • VERARDO, Marco
    2336 Les Bois (CH)

(74) Mandataire: ICB SA 
Faubourg de l'Hôpital, 3
2001 Neuchâtel
2001 Neuchâtel (CH)

   


(54) PROCEDE DE FABRICATION D'UN SPIRAL EN SILICIUM