(19)

(11)

EP 3 775 334 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 17.02.2021  Patentblatt  2021/07 (21) Anmeldenummer: 19718284.3 (22) Anmeldetag:  10.04.2019

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C30B 25/16(2006.01) C30B 29/40(2006.01) C23C 16/00(2006.01) C30B 25/18(2006.01) H01L 21/00(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2019/059010 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2019/197433 (17.10.2019 Gazette  2019/42)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 11.04.2018 DE 102018108604 (71) Anmelder: Aixtron SE 52134 Herzogenrath (DE)	(72) Erfinder: MAUDER, Christof Martin 52066 Aachen (DE) (74) Vertreter: Grundmann, Dirk et al Rieder & Partner mbB Patentanwälte - Rechtsanwalt Corneliusstrasse 45 42329 Wuppertal 42329 Wuppertal (DE)