(19)

(11)

EP 3 782 204 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 24.02.2021  Patentblatt  2021/08 (21) Anmeldenummer: 19720511.5 (22) Anmeldetag:  18.04.2019

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 31/048(2014.01) G01L 1/18(2006.01) H01L 21/66(2006.01) G01L 1/16(2006.01) G01L 5/16(2020.01) H02S 50/10(2014.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2019/060184 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2019/202119 (24.10.2019 Gazette  2019/43)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 20.04.2018 DE 102018206155 (71) Anmelder: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 80686 München (DE)	(72) Erfinder: BEINERT, Andreas 79110 Freiburg (DE) EITNER, Ulrich 79110 Freiburg (DE) (74) Vertreter: Pfitzner, Hannes et al Schoppe, Zimmermann, Stöckeler Zinkler, Schenk & Partner mbB Patentanwälte Radlkoferstraße 2 81373 München 81373 München (DE)