(19)
(11) EP 3 788 180 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
26.12.2019

(43) Veröffentlichungstag:
10.03.2021  Patentblatt  2021/10

(21) Anmeldenummer: 19720882.0

(22) Anmeldetag:  30.04.2019
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 16/26(2006.01)
C23C 16/46(2006.01)
C23C 16/44(2006.01)
F16J 15/16(2006.01)
 C23C 16/54(2006.01)
C23C 14/56(2006.01)
B01J 3/03(2006.01)
F16K 3/316(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2019/061065
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2019/211280 (07.11.2019 Gazette  2019/45)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 30.04.2018 DE 102018110350
30.04.2018 DE 102018110348

(71) Anmelder: Aixtron SE
52134 Herzogenrath (DE)

(72) Erfinder:
  • JOUVRAY, Alexandre
    Huntington PE28 9QB (GB)

(74) Vertreter: Grundmann, Dirk et al
Rieder & Partner mbB Patentanwälte - Rechtsanwalt Corneliusstrasse 45
42329 Wuppertal
42329 Wuppertal (DE)

   


(54) VORRICHTUNG ZUM BESCHICHTEN EINES SUBSTRATES MIT EINER KOHLENSTOFFHALTIGEN BESCHICHTUNG