(19)

(11)

EP 3 803 511 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 14.04.2021  Patentblatt  2021/15 (21) Anmeldenummer: 19724359.5 (22) Anmeldetag:  30.04.2019

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  G03F 7/20(2006.01) G01B 9/02(2006.01) G01B 11/14(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2019/061038 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2019/223968 (28.11.2019 Gazette  2019/48)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 24.05.2018 DE 102018208147 (71) Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 73447 Oberkochen (DE)	(72) Erfinder: MANGER, Matthias 73432 Aalen (DE) KÖNIGER, Andreas 73431 Aalen (DE) VOGLER, Alexander 73437 Aalen (DE) (74) Vertreter: Frank, Hartmut  Bonsmann Bonsmann Frank Patentanwälte Reichspräsidentenstraße 21-25 45470 Mülheim a. d. Ruhr 45470 Mülheim a. d. Ruhr (DE)