(19)

(11)

EP 3 803 512 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 14.04.2021  Patentblatt  2021/15 (21) Anmeldenummer: 19725155.6 (22) Anmeldetag:  17.05.2019

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  G03F 7/20(2006.01) G02B 27/09(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2019/062845 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2019/233741 (12.12.2019 Gazette  2019/50)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 04.06.2018 DE 102018208710 (71) Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 73447 Oberkochen (DE)	(72) Erfinder: PATRA, Michael 73447 Oberkochen (DE) (74) Vertreter: Rau, Schneck & Hübner Patentanwälte Rechtsanwälte PartGmbB  Königstraße 2 90402 Nürnberg 90402 Nürnberg (DE)