(19)

(11)

EP 3 807 441 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 21.04.2021  Patentblatt  2021/16 (21) Anmeldenummer: 19731237.4 (22) Anmeldetag:  13.06.2019

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C23C 14/24(2006.01) C23C 16/50(2006.01) C23C 16/458(2006.01) H01L 21/673(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2019/065492 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2019/238821 (19.12.2019 Gazette  2019/51)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 13.06.2018 DE 102018114159 (71) Anmelder: Nippon Kornmeyer Carbon Group GmbH 53578 Windhagen (DE)	(72) Erfinder: KORNMEYER, Torsten 53639 Königswinter (DE) (74) Vertreter: Lippert Stachow Patentanwälte Rechtsanwälte Partnerschaft mbB  Krenkelstraße 3 01309 Dresden 01309 Dresden (DE)