(19)
(11) EP 3 807 961 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
21.04.2021  Patentblatt  2021/16

(21) Anmeldenummer: 19727388.1

(22) Anmeldetag:  28.05.2019
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01S 3/08(2006.01)
H01S 3/106(2006.01)
H01S 3/225(2006.01)
 H01S 3/1055(2006.01)
G03F 7/20(2006.01)
H01S 3/081(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2019/063857
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2019/238417 (19.12.2019 Gazette  2019/51)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 14.06.2018 DE 102018209602

(71) Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH
73447 Oberkochen (DE)

(72) Erfinder:
  • KRAUS, Johannes
    97288 Theilheim (DE)
  • GLÖCKL, Oliver
    73431 Aalen (DE)
  • DEUBEL, Markus
    73431 Aalen (DE)

(74) Vertreter: Rau, Schneck & Hübner Patentanwälte Rechtsanwälte PartGmbB 
Königstraße 2
90402 Nürnberg
90402 Nürnberg (DE)

   


(54) OPTISCHE BAUGRUPPE ZUR VERRINGERUNG EINER SPEKTRALEN BANDBREITE EINES AUSGABESTRAHLS EINES LASERS