(19)

(11)

EP 3 811 153 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 28.04.2021  Patentblatt  2021/17 (21) Anmeldenummer: 18734150.8 (22) Anmeldetag:  19.06.2018

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  G03F 7/20(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2018/066181 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2019/242840 (26.12.2019 Gazette  2019/52)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (71) Anmelder: EV Group E. Thallner GmbH 4782 St. Florian am Inn (AT)	(72) Erfinder: THALLNER, Bernhard 4782 St. Florian am Inn (AT) POVAZAY, Boris 1220 Wien (AT) (74) Vertreter: Schneider, Sascha et al Becker & Müller Patentanwälte Turmstraße 22 40878 Ratingen 40878 Ratingen (DE)