(19)
(11) EP 3 811 415 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
28.04.2021  Patentblatt  2021/17

(21) Anmeldenummer: 19778788.0

(22) Anmeldetag:  20.06.2019
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 29/15(2006.01)
H01L 29/207(2006.01)
H01L 29/20(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2019/100572
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2020/001694 (02.01.2020 Gazette  2020/01)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 25.06.2018 DE 102018115222

(71) Anmelder:
  • Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg
    39106 Magdeburg (DE)
  • AZUR SPACE Solar Power GmbH
    74072 Heilbronn (DE)

(72) Erfinder:
  • STRITTMATTER, André
    14548 Schwielowsee (DE)
  • DADGAR, Armin
    10555 Berlin (DE)

(74) Vertreter: Koch Müller Patentanwaltsgesellschaft mbH 
Maaßstraße 32/1
69123 Heidelberg
69123 Heidelberg (DE)

   


(54) HALBLEITERSCHICHTSTAPEL UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG