(19)
(11) EP 3 814 270 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
05.05.2021  Patentblatt  2021/18

(21) Anmeldenummer: 19779365.6

(22) Anmeldetag:  27.06.2019
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
B81C 1/00(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2019/067248
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2020/002554 (02.01.2020 Gazette  2020/01)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 29.06.2018 DE 102018210810

(71) Anmelder:
  • FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
    80686 München (DE)
  • Technische Universität Chemnitz
    09111 Chemnitz (DE)

(72) Erfinder:
  • FORKE, Roman
    09126 Chemnitz (DE)
  • HILLER, Karla
    09111 Chemnitz (DE)

(74) Vertreter: Pfenning, Meinig & Partner mbB 
Patent- und Rechtsanwälte Joachimsthaler Straße 10-12
10719 Berlin
10719 Berlin (DE)

   


(54) MIKROMECHANISCHES BAUTEIL UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG