(19)

(11)

EP 3 818 189 A1

(12)

(43) Date de publication: 12.05.2021  Bulletin  2021/19 (21) Numéro de dépôt: 19730385.2 (22) Date de dépôt:  18.06.2019

(51) Int. Cl.:  C23C 16/27(2006.01) H01J 37/32(2006.01) C23C 16/517(2006.01) (86) Numéro de dépôt: PCT/EP2019/066079 (87) Numéro de publication internationale: WO 2020/007605 (09.01.2020 Gazette  2020/02)

(84) Etats contractants désignés: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Etats d'extension désignés: BA ME Etats de validation désignés: KH MA MD TN (30) Priorité: 05.07.2018 BE 201805473 (71) Demandeur: Diarotech 6220 Fleurus (BE)	(72) Inventeur: TELLEZ OLIVA, Horacio 6000 Charleroi (BE) (74) Mandataire: Office Kirkpatrick  Avenue Wolfers, 32 1310 La Hulpe 1310 La Hulpe (BE)