(19)
(11) EP 3 824 498 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
26.05.2021  Patentblatt  2021/21

(21) Anmeldenummer: 19736618.0

(22) Anmeldetag:  26.06.2019
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 29/165(2006.01)
H01L 29/78(2006.01)
H01L 29/06(2006.01)
 H01L 29/423(2006.01)
H01L 21/336(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2019/066933
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2020/015961 (23.01.2020 Gazette  2020/04)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 17.07.2018 DE 102018211825

(71) Anmelder: Robert Bosch GmbH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • BARTOLF, Holger
    72810 Gomaringen (DE)
  • GOERLACH, Alfred
    72127 Kusterdingen (DE)
  • SCHWAIGER, Stephan
    72147 Nehren (DE)

   


(54) VERTIKALER LEISTUNGSTRANSISTOR UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DES VERTIKALEN LEISTUNGSTRANSISTORS