(19)

(11)

EP 3 827 311 A1

(12)

(43) Date de publication: 02.06.2021  Bulletin  2021/22 (21) Numéro de dépôt: 19742219.9 (22) Date de dépôt:  23.07.2019

(51) Int. Cl.:  G03F 7/00(2006.01) G02B 3/00(2006.01) G02B 3/04(2006.01) B81C 99/00(2010.01) (86) Numéro de dépôt: PCT/EP2019/069829 (87) Numéro de publication internationale: WO 2020/020903 (30.01.2020 Gazette  2020/05)

(84) Etats contractants désignés: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Etats d'extension désignés: BA ME Etats de validation désignés: KH MA MD TN (30) Priorité: 25.07.2018 FR 1856929 (71) Demandeur: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives 75015 Paris (FR)	(72) Inventeurs: TEYSSEDRE, Hubert 38054 GRENOBLE Cedex 09 (FR) BRIANCEAU, Pierre 38054 GRENOBLE Cedex 09 (FR) LANDIS, Stefan 38054 GRENOBLE Cedex 09 (FR) (74) Mandataire: Bronchart, Quentin  Cabinet Hautier 20, rue de la Liberté 06000 Nice 06000 Nice (FR)