(19)

(11)

EP 3 833 799 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 16.06.2021  Patentblatt  2021/24 (21) Anmeldenummer: 19753322.7 (22) Anmeldetag:  09.08.2019

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C23C 14/04(2006.01) C23C 14/34(2006.01) C23C 14/54(2006.01) C23C 14/35(2006.01) C23C 14/50(2006.01) H01J 37/34(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2019/071460 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2020/030794 (13.02.2020 Gazette  2020/07)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 10.08.2018 DE 102018213534 (71) Anmelder: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 80686 München (DE)	(72) Erfinder: VERGÖHL, Michael 38108 Braunschweig (DE) PFLUG, Andreas 38108 Braunschweig (DE) BRUNS, Stefan 38108 Braunschweig (DE) ZICKENROTT Tobias 38108 Braunschweig (DE) (74) Vertreter: Pfenning, Meinig & Partner mbB  Patent- und Rechtsanwälte Theresienhöhe 11a 80339 München 80339 München (DE)