(19)
(11) EP 3 841 608 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
30.06.2021  Patentblatt  2021/26

(21) Anmeldenummer: 19759536.6

(22) Anmeldetag:  22.08.2019
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/60(2006.01)
H01L 25/065(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2019/072514
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2020/039041 (27.02.2020 Gazette  2020/09)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 24.08.2018 DE 102018214367

(71) Anmelder: Karlsruher Institut für Technologie
76131 Karlsruhe (DE)

(72) Erfinder:
  • BOG, Uwe
    76189 Karlsruhe (DE)
  • HIRTZ, Michael
    76351 Linkenheim-Hochstetten (DE)
  • FUCHS, Harald
    48145 Münster (DE)
  • AGHASSI, Jasmin
    76227 Karlsruhe (DE)
  • CADILHA MARQUES, Gabriel
    76185 Karlsruhe (PT)
  • DASGUPTA, Subho
    Bangalore 560012 (IN)
  • BREITUNG, Ben
    76751 Jockgrim (DE)
  • HAHN, Horst
    64342 Seeheim-Jugendheim (DE)

(74) Vertreter: Altmann Stößel Dick Patentanwälte PartG mbB 
Dudenstrasse 46
68167 Mannheim
68167 Mannheim (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER ELEKTRISCH LEITFÄHIGEN VERBINDUNG AUF EINEM SUBSTRAT, MIKROELEKTRONISCHES BAUELEMENT UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG