(19)

(11)

EP 3 844 800 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 07.07.2021  Patentblatt  2021/27 (21) Anmeldenummer: 19762706.0 (22) Anmeldetag:  29.07.2019

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/60(2006.01) B23K 26/03(2006.01) B23K 20/10(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE2019/100694 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2020/043230 (05.03.2020 Gazette  2020/10)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 27.08.2018 DE 102018120822 (71) Anmelder: Hesse GmbH 33104 Paderborn (DE)	(72) Erfinder: UNGER, Andreas 33415 Verl (DE) BRÖKELMANN, Michael 33129 Delbrück (DE) HUNSTIG, Matthias 33104 Paderborn (DE) (74) Vertreter: Wickord, Wiro  Tarvenkorn & Wickord Patentanwälte Partnerschaftsgesellschaft mbB Rathenaustraße 96 33102 Paderborn 33102 Paderborn (DE)