(19)
(11) EP 3 844 802 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
07.07.2021  Patentblatt  2021/27

(21) Anmeldenummer: 20753676.4

(22) Anmeldetag:  14.07.2020
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/67(2006.01)
H03H 9/64(2006.01)
 H03H 9/10(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2020/069882
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2021/018568 (04.02.2021 Gazette  2021/05)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 01.08.2019 DE 102019120844

(71) Anmelder: Horst Siedle GmbH & Co. KG.
78120 Furtwangen (DE)

(72) Erfinder:
  • HALDER, Ernst
    70437 Stuttgart (DE)
  • ULMER, Michael
    73054 Eislingen (DE)
  • ECKERT, Tobias
    79194 Gundelfingen (DE)
  • ZOSCHKE, Kai
    13089 Berlin (DE)

(74) Vertreter: DREISS Patentanwälte PartG mbB 
Friedrichstraße 6
70174 Stuttgart
70174 Stuttgart (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON ABGEDICHTETEN FUNKTIONSELEMENTEN