(19)

(11)

EP 3 847 293 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 14.05.2020 (43) Veröffentlichungstag: 14.07.2021  Patentblatt  2021/28 (21) Anmeldenummer: 19765977.4 (22) Anmeldetag:  03.09.2019

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C23C 16/44(2006.01) C23C 16/52(2006.01) C23C 16/46(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2019/073464 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2020/048981 (12.03.2020 Gazette  2020/11)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 07.09.2018 DE 102018121854 (71) Anmelder: Aixtron SE 52134 Herzogenrath (DE)	(72) Erfinder: LAUFFER, Peter Sebald 52070 Aachen (DE) (74) Vertreter: Grundmann, Dirk et al Rieder & Partner mbB Patentanwälte - Rechtsanwalt Yale-Allee 26 42329 Wuppertal 42329 Wuppertal (DE)