(19)
(11) EP 3 847 466 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
14.07.2021  Patentblatt  2021/28

(21) Anmeldenummer: 19780142.6

(22) Anmeldetag:  04.09.2019
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01R 31/28(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2019/100794
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2020/048567 (12.03.2020 Gazette  2020/11)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 07.09.2018 DE 102018121911

(71) Anmelder: Formfactor GmbH
01561 Thiendorf (DE)

(72) Erfinder:
  • LORD, Anthony James
    Banbury OX16 1GE (GB)
  • ANDREWS, Peter Douglas
    Beaverton, 97007 (US)
  • THIELE, Frank
    01468 Moritzburg (DE)
  • KLATTENHOFF, Jens
    01159 Dresden (DE)
  • FISHER, Gavin
    Fenny Compton CV47 2YF (GB)
  • KELLER, Ralf
    01239 Dresden (DE)
  • SCHNEIDER, Peter
    01157 Dresden (DE)
  • HERZ, Enrico
    01945 Frauendorf (DE)
  • FLEISCHER, Hans-Jürgen
    01561 Priestewitz (DE)
  • KIESEWETTER, Jörg
    01561 Thiendorf (DE)

(74) Vertreter: Lippert Stachow Patentanwälte Rechtsanwälte Partnerschaft mbB 
Krenkelstraße 3
01309 Dresden
01309 Dresden (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR POSITIONIERUNG VON TESTSUBSTRAT, SONDEN UND INSPEKTIONSEINHEIT RELATIV ZUEINANDER UND PROBER ZU DESSEN AUSFÜHRUNG