(19)

(11)

EP 3 853 879 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 28.07.2021  Patentblatt  2021/30 (21) Anmeldenummer: 19769112.4 (22) Anmeldetag:  11.09.2019

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01J 1/26(2006.01) H01J 1/18(2006.01) H01J 23/083(2006.01) H01J 25/36(2006.01) H01J 1/28(2006.01) H01J 1/94(2006.01) H01J 23/04(2006.01) H01J 37/067(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2019/074183 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2020/058053 (26.03.2020 Gazette  2020/13)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 20.09.2018 DE 102018123100 (71) Anmelder: Thales Deutschland GmbH Electron Devices 89077 Ulm (DE)	(72) Erfinder: DIETRICH, Christof 89168 Niederstotzingen (DE) FESTL, Norbert 89233 Neu-Ulm (DE) SEIDEL, Harald 88483 Burgrieden (DE) (74) Vertreter: Baur & Weber Patentanwälte PartG mbB  Rosengasse 13 89073 Ulm 89073 Ulm (DE)