(19)
(11) EP 3 856 948 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
25.06.2020

(43) Veröffentlichungstag:
04.08.2021  Patentblatt  2021/31

(21) Anmeldenummer: 19795203.9

(22) Anmeldetag:  28.10.2019
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 14/28(2006.01)
C23C 14/06(2006.01)
C23C 14/54(2006.01)
 C23C 14/08(2006.01)
C23C 14/00(2006.01)
C30B 23/06(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2019/079430
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2020/089180 (07.05.2020 Gazette  2020/19)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 31.10.2018 DE 102018127262

(71) Anmelder: Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V.
80539 München (DE)

(72) Erfinder:
  • BRAUN, Wolfgang
    74321 Bietigheim-Bissingen (DE)
  • MANNHART, Jochen
    71032 Böblingen (DE)

(74) Vertreter: Manitz Finsterwald Patent- und Rechtsanwaltspartnerschaft mbB 
Martin-Greif-Strasse 1
80336 München
80336 München (DE)

   


(54) BESCHICHTUNGSVORRICHTUNG, PROZESSKAMMER, SOWIE VERFAHREN ZUM BESCHICHTEN EINES SUBSTRATS UND SUBSTRAT BESCHICHTET MIT ZUMINDEST EINER MATERIALSCHICHT