(19)
(11) EP 3 857 285 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
04.08.2021  Patentblatt  2021/31

(21) Anmeldenummer: 19786270.9

(22) Anmeldetag:  19.09.2019
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G02B 21/00(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2019/075104
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2020/064481 (02.04.2020 Gazette  2020/14)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 24.09.2018 DE 102018123381

(71) Anmelder: Leica Microsystems CMS GmbH
35578 Wetzlar (DE)

(72) Erfinder:
  • FRIEDRICH, Lars
    69469 Weinheim (DE)

(74) Vertreter: Schaumburg und Partner Patentanwälte mbB 
Postfach 86 07 48
81634 München
81634 München (DE)

   


(54) Verfahren und Vorrichtung zum Abrastern einer Probe