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Benannte Vertragsstaaten: |
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AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL
NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR |
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Priorität: |
04.10.2018 DE 102018124467
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| (43) |
Veröffentlichungstag der Anmeldung: |
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11.08.2021 Patentblatt 2021/32 |
| (73) |
Patentinhaber: MST Innovation GmbH |
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45527 Hattingen (DE) |
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Erfinder: |
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- BARTELS, Frank
45527 Hattingen (DE)
- STREICH, Carmen
45130 Essen (DE)
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Vertreter: Tahhan, Nader Isam Mark |
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Isipat
Am Birkenacker 13 79199 Kirchzarten 79199 Kirchzarten (DE) |
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Entgegenhaltungen: :
EP-A1- 2 222 959 WO-A1-97/01054 US-A1- 2013 045 144
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EP-A2- 1 679 121 US-A1- 2005 284 526 US-A1- 2013 299 015
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- LI H Q ET AL: "Fabrication of a high frequency piezoelectric microvalve", SENSORS
AND ACTUATORS A: PHYSICAL, ELSEVIER BV, NL, Bd. 111, Nr. 1, 1. März 2004 (2004-03-01),
Seiten 51-56, XP004489322, ISSN: 0924-4247, DOI: 10.1016/J.SNA.2003.10.013
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