(19)
(11) EP 3 880 867 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
22.09.2021  Patentblatt  2021/38

(21) Anmeldenummer: 19798297.8

(22) Anmeldetag:  05.11.2019
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 24/04(2006.01)
B33Y 70/00(2020.01)
C04B 35/26(2006.01)
C23C 16/04(2006.01)
C23C 16/48(2006.01)
B23K 26/34(2014.01)
C04B 35/14(2006.01)
C23C 24/08(2006.01)
C23C 16/32(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
B33Y 70/00; C23C 16/047; B23K 26/1476; B23K 26/0006; B23K 26/147; C23C 16/325; C23C 16/483; C23C 24/082; B23K 2103/52; B29C 64/209; B29C 64/141; B23K 26/342; B33Y 10/00; C23C 24/04; B33Y 30/00; C04B 35/565; C04B 2235/6026; B23K 26/144
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2019/080240
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2020/099188 (22.05.2020 Gazette  2020/21)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 13.11.2018 DE 102018128434

(71) Anmelder: PSC Technologies GmbH
12489 Berlin (DE)

(72) Erfinder:
  • GREULICH-WEBER, Siegmund
    33175 Bad Lippspringe (DE)

(74) Vertreter: Freiherr von Foullon, Alexander 
Von Rohr Patentanwälte Partnerschaft mbB Rüttenscheider Straße 62
DE-45130 Essen
DE-45130 Essen (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR ERZEUGUNG VON DREIDIMENSIONALEN SILICIUMCARBIDHALTIGEN OBJEKTEN