(19)

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EP 3 883 884 A1

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(43) Date de publication: 29.09.2021  Bulletin  2021/39 (21) Numéro de dépôt: 19850730.3 (22) Date de dépôt:  23.12.2019

(51) Int. Cl.:  C01B 25/08(2006.01) H01L 29/207(2006.01) C09K 11/70(2006.01) C30B 29/40(2006.01) (52) Classification Coopérative des Brevets (CPC) : B82Y 30/00; C30B 7/14; C09K 11/70; H01L 33/502; Y02E 10/52; B82Y 40/00; C30B 29/40; C01B 25/088; H01L 31/055 (86) Numéro de dépôt: PCT/FR2019/053287 (87) Numéro de publication internationale: WO 2020/136347 (02.07.2020 Gazette  2020/27)

(84) Etats contractants désignés: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Etats d'extension désignés: BA ME Etats de validation désignés: KH MA MD TN (30) Priorité: 26.12.2018 FR 1874171 (71) Demandeur: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives 75015 Paris (FR)	(72) Inventeurs: AKDAS, Tugce 38054 GRENOBLE (FR) REISS, Peter 38054 GRENOBLE (FR) (74) Mandataire: Brevalex  56, Boulevard de l'Embouchure B.P. 27519 31075 Toulouse Cedex 2 31075 Toulouse Cedex 2 (FR)