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EP 3 887 565 A1

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(43) Veröffentlichungstag: 06.10.2021  Patentblatt  2021/40 (21) Anmeldenummer: 19809047.4 (22) Anmeldetag:  22.11.2019

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C23C 16/04(2006.01) C23C 16/455(2006.01) C23C 16/52(2006.01) C23C 16/40(2006.01) C23C 16/511(2006.01) H01J 37/32(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : C23C 16/045; C23C 16/52; C23C 16/45512; C23C 16/511; C23C 16/45561; C23C 16/401; H01J 37/32981; H01J 37/32816; H01J 37/32394 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2019/082169 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2020/109145 (04.06.2020 Gazette  2020/23)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 26.11.2018 DE 102018129694 (71) Anmelder: KHS Corpoplast GmbH 22145 Hamburg (DE)	(72) Erfinder: HERBORT, Michael 20535 Hamburg (DE) BEYERSDORFF, Björn 22880 Wedel (DE) (74) Vertreter: Greiche, Albert  Greiche IP Neuer Wall 50 20354 Hamburg 20354 Hamburg (DE)