(19)

(11)

EP 3 887 568 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 06.08.2020 (43) Veröffentlichungstag: 06.10.2021  Patentblatt  2021/40 (21) Anmeldenummer: 19816553.2 (22) Anmeldetag:  27.11.2019

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C23C 16/455(2006.01) B23K 26/352(2014.01) B23K 26/382(2014.01) B23K 26/359(2014.01) B23K 26/00(2014.01) B23K 26/362(2014.01) B23K 26/402(2014.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : B23K 26/362; B23K 26/402; B23K 26/382; B23K 2103/50; B23K 2103/54; C23C 16/4408; C23C 16/45508; C23C 16/4558 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2019/082674 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2020/109357 (04.06.2020 Gazette  2020/23)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 28.11.2018 DE 102018130140 (71) Anmelder: Aixtron SE 52134 Herzogenrath (DE)	(72) Erfinder: KOLLBERG, Marcel 52146 Würselen (DE) RUDA Y WITT, Francisco 52249 Eschweiler (DE) (74) Vertreter: Grundmann, Dirk et al Rieder & Partner mbB Patentanwälte - Rechtsanwalt Yale-Allee 26 42329 Wuppertal 42329 Wuppertal (DE)