(19)
(11) EP 3 894 961 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
20.10.2021  Patentblatt  2021/42

(21) Anmeldenummer: 19832544.1

(22) Anmeldetag:  11.12.2019
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G03F 7/20(2006.01)
B23K 26/08(2014.01)
C23C 16/48(2006.01)
 G03F 9/00(2006.01)
C23C 16/04(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
B23K 26/0823; B23K 26/083; B23K 37/0235; G03F 7/70716; G03F 7/70733; G03F 9/00; H05K 13/0061; H05K 13/086
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2019/101076
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2020/119863 (18.06.2020 Gazette  2020/25)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 12.12.2018 DE 102018132001

(71) Anmelder: Laser Imaging Systems GmbH
07745 Jena (DE)

(72) Erfinder:
  • RÜCKER, Steffen
    07751 Großlöbichau (DE)
  • KLOWSKY, Uwe
    07751 Jena (DE)

(74) Vertreter: Gleim Petri Oehmke Patent- und Rechtsanwaltspartnerschaft mbB 
Neugasse 13
07743 Jena
07743 Jena (DE)

   


(54) VORRICHTUNG ZUM BELICHTEN VON PLATTENFÖRMIGEN WERKSTÜCKEN MIT HOHEM DURCHSATZ