(19)

(11)

EP 3 895 225 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 03.09.2020 (43) Veröffentlichungstag: 20.10.2021  Patentblatt  2021/42 (21) Anmeldenummer: 19853242.6 (22) Anmeldetag:  16.12.2019

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 51/44(2006.01) H01L 51/48(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : H01L 51/0014; H01L 51/448; Y02E 10/549 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE2019/101097 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2020/119865 (18.06.2020 Gazette  2020/25)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 14.12.2018 DE 102018132342 (71) Anmelder: Heliatek GmbH 01139 Dresden (DE)	(72) Erfinder: BEWERSDORFF-SARLETTE, Ulrike 01139 Dresden (DE) PFEIFFER-JACOB, Martin 01139 Dresden (DE) (74) Vertreter: Viering, Jentschura & Partner mbB Patent- und Rechtsanwälte  Am Brauhaus 8 01099 Dresden 01099 Dresden (DE)