(19)

(11)

EP 3 900 016 A1

(12)

(43) Date de publication: 27.10.2021  Bulletin  2021/43 (21) Numéro de dépôt: 19829153.6 (22) Date de dépôt:  18.12.2019

(51) Int. Cl.:  H01L 21/02(2006.01) (52) Classification Coopérative des Brevets (CPC) : H01L 21/02378; H01L 21/02389; H01L 21/0254; H01L 21/02458; H01L 21/024; H01L 21/0242; H01L 21/02576 (86) Numéro de dépôt: PCT/EP2019/086123 (87) Numéro de publication internationale: WO 2020/127605 (25.06.2020 Gazette  2020/26)

(84) Etats contractants désignés: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Etats d'extension désignés: BA ME Etats de validation désignés: KH MA MD TN (30) Priorité: 21.12.2018 FR 1873952 (71) Demandeur: Saint-Gobain Lumilog 92400 Courbevoie (FR)	(72) Inventeurs: BEAUMONT, Bernard 06530 LE TIGNET (FR) FAURIE, Jean-Pierre 06560 VALBONNE (FR) GELLY, Vincent 06560 VALBONNE (FR) NAHAS, Nabil 06250 MOUGINS (FR) TENDILLE, Florian 06250 MOUGINS (FR) (74) Mandataire: Regimbeau  20, rue de Chazelles 75847 Paris Cedex 17 75847 Paris Cedex 17 (FR)