(19)
(11) EP 3 902 022 A8

(12) KORRIGIERTE EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG
Hinweis: Bibliographie entspricht dem neuesten Stand

(15) Korrekturinformation:
Korrigierte Fassung Nr.  1 (W1 A1)

(48) Corrigendum ausgegeben am:
09.02.2022  Patentblatt  2022/06

(43) Veröffentlichungstag:
27.10.2021  Patentblatt  2021/43

(21) Anmeldenummer: 21167957.6

(22) Anmeldetag:  13.04.2021
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 41/053(2006.01)
H01L 41/09(2006.01)
F16K 31/00(2006.01)
H01L 41/04(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
H01L 41/053; H01L 41/094; F16K 31/006; H01L 41/25; B41J 2/00
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 21.04.2020 DE 102020002403

(71) Anmelder: Exel Industries SA
51200 Epernay (FR)

(72) Erfinder:
  • Büstgens, Burkhard
    79194 Gundelfingen (DE)

(74) Vertreter: Keenway Patentanwälte Neumann Heine Taruttis 
PartG mbB Postfach 10 33 63
40024 Düsseldorf
40024 Düsseldorf (DE)

   


(54) PIEZOAKTUATOR UND PIEZOAKTUATOR-ARRAY


(57) Ein Piezoaktuator 1 zur Durchführung einer Stellbewegung 13 wird vorgeschlagen, mit einem Piezo-Biegewandler 2 aus einer Trägerschicht 4, die ein- oder zweiseitig mit einer Piezolamelle 3 zumindest teilweise belegt ist, mit einem beweglichen Ende 6 und mit einem Gehäuse 31, mit einem Referenzanschlag 15, der mit dem Gehäuse 31 verbunden ist, zur Festlegung einer Referenzposition 40 für die Stellbewegung 13, mit einem ersten Lagerbereich 7, der Bereiche des Piezooaktuators 1 und des Gehäuses 31 umfasst und welcher Verdrehungen Φ1 des Piezo-Biegewandlers 2 ermöglicht, mit einem zweiten Lagerbereich 8 mit einer Biegewandler-seitigen Fläche 10 und einer Gehäuse-seitigen Fläche 11 und einer Zwischenschicht 12 zwischen den Flächen, welche diese verbindet und welche verflüssigbar ist-und mit einem Andruckelement 24 zur Erzeugung eines Bias-Drehmomentes 34 auf den Piezo-Biegewandler 2 um den ersten Lagerbereich 7 gegen den Referenzanschlag 15.