(19)

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EP 3 912 185 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 24.11.2021  Patentblatt  2021/47 (21) Anmeldenummer: 19701096.0 (22) Anmeldetag:  18.01.2019

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/66(2006.01) H01L 23/00(2006.01) H01L 21/18(2006.01) G01N 21/00(2006.01) G01B 11/30(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : H01L 24/80; H01L 2224/08145; H01L 24/74; H01L 2224/08245; H01L 2224/08225; H01L 2224/80908; H01L 22/12; H01L 2924/3511; G01B 11/16; H01L 21/2007; H01L 2224/8013; G01B 11/14 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2019/051244 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2020/147964 (23.07.2020 Gazette  2020/30)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (71) Anmelder: EV Group E. Thallner GmbH 4782 St. Florian am Inn (AT)	(72) Erfinder: ZINNER, Dominik 4755 Zell an der Pram (AT) MALLINGER, Jürgen 4973 Senftenbach (AT) PLACH, Thomas 4782 St. Florian am Inn (AT) POVAZAY, Boris 1220 Wien (AT) ROHRINGER, Harald 4911 Tumeltsham (AT) SÜSS, Jürgen Markus 4791 Rainbach b. Schärding (AT) (74) Vertreter: Schneider, Sascha et al Becker & Müller Patentanwälte Turmstraße 22 40878 Ratingen 40878 Ratingen (DE)