(19)
(11) EP 3 912 436 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
24.11.2021  Patentblatt  2021/47

(21) Anmeldenummer: 19835621.4

(22) Anmeldetag:  16.12.2019
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H05H 1/24(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
H05H 2245/30; H05H 1/2406; H05H 2245/60; H05H 1/2418
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2019/101096
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2020/147880 (23.07.2020 Gazette  2020/30)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 16.01.2019 DE 102019101063

(71) Anmelder: Cinogy GmbH
37115 Duderstadt (DE)

(72) Erfinder:
  • WANDKE, Dirk
    37308 Heilbad Heiligenstadt (DE)
  • LETTKE, Ronny
    37115 Duderstadt (DE)

(74) Vertreter: Gramm, Lins & Partner Patent- und Rechtsanwälte PartGmbB 
Freundallee 13a
30173 Hannover
30173 Hannover (DE)

   


(54) PLASMA-BEHANDLUNGSANORDNUNG UND VERFAHREN ZUR ANPASSUNG DER GRÖßE EINER AUFLAGEFLÄCHE DER PLASMA-BEHANDLUNGSANORDNUNG AN DIE GRÖßE DER ZU BEHANDELNDEN OBERFLÄCHE