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EP 3 915 139 A1

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(43) Date de publication: 01.12.2021  Bulletin  2021/48 (21) Numéro de dépôt: 20726189.2 (22) Date de dépôt:  13.03.2020

(51) Int. Cl.:  H01L 21/56(2006.01) H01L 23/31(2006.01) H01L 23/29(2006.01) H01L 23/485(2006.01) (52) Classification Coopérative des Brevets (CPC) : H01L 2224/73204; H01L 23/3185; H01L 24/81; H01L 2224/13147; H01L 21/563; H01L 2224/13011; H01L 23/293; H01L 2224/2919; H01L 2224/26145; H01L 2224/83102; H01L 24/16; H01L 2224/92125; H01L 2224/81815; H01L 2224/32225; H01L 24/83; H01L 24/32; H01L 2224/16227; H01L 2224/13109; H01L 2224/81193; H01L 2224/13111   C-Sets : H01L 2224/2919, H01L 2924/0665; H01L 2224/73204, H01L 2224/16225, H01L 2224/32225, H01L 2924/00; H01L 2224/13147, H01L 2924/00014; H01L 2224/13109, H01L 2924/014, H01L 2924/0105, H01L 2924/00014; H01L 2224/13111, H01L 2924/014, H01L 2924/01049, H01L 2924/00014; H01L 2224/13011, H01L 2924/00014; (86) Numéro de dépôt: PCT/FR2020/050531 (87) Numéro de publication internationale: WO 2020/193903 (01.10.2020 Gazette  2020/40)

(84) Etats contractants désignés: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Etats d'extension désignés: BA ME Etats de validation désignés: KH MA MD TN (30) Priorité: 25.03.2019 FR 1903041 (71) Demandeur: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives 75015 Paris (FR)	(72) Inventeurs: CAICEDO PANQUEVA, Nohora-Lizeth 38054 Grenoble Cedex 09 (FR) AIT-MANI, Abdenacer 38054 Grenoble Cedex 09 (FR) NONGLATON, Guillaume 38054 Grenoble Cedex 09 (FR) (74) Mandataire: Brevalex  95, rue d'Amsterdam 75378 Paris Cedex 8 75378 Paris Cedex 8 (FR)