(19)
(11) EP 3 915 156 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
01.12.2021  Patentblatt  2021/48

(21) Anmeldenummer: 20701710.4

(22) Anmeldetag:  17.01.2020
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 51/00(2006.01)
H01L 51/05(2006.01)
 H01L 51/10(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
H01L 51/0018; H01L 51/0021; H01L 51/0554; H01L 51/105
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2020/051185
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2020/152061 (30.07.2020 Gazette  2020/31)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 23.01.2019 DE 102019200810

(71) Anmelder: Technische Universität Dresden
01069 Dresden (DE)

(72) Erfinder:
  • KLEEMANN, Hans
    01099 Dresden (DE)
  • PARK, Seongae
    01217 Dresden (DE)
  • VAHLAND, Jörn
    01097 Dresden (DE)

(74) Vertreter: Kutzenberger Wolff & Partner 
Waidmarkt 11
50676 Köln
50676 Köln (DE)

   


(54) ORGANISCHER DÜNNSCHICHT-TRANSISTOR UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DESSELBEN