(19)
(11) EP 3 916 225 A3

(12) EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG

(88) Veröffentlichungstag A3:
09.03.2022  Patentblatt  2022/10

(43) Veröffentlichungstag A2:
01.12.2021  Patentblatt  2021/48

(21) Anmeldenummer: 21199985.9

(22) Anmeldetag:  29.09.2021
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
F04B 37/14(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
F04B 37/14; F04B 39/16; F04B 49/065; F04B 2205/07; F04B 2205/09; F04B 2207/043
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(71) Anmelder: Pfeiffer Vacuum Technology AG
35614 Asslar (DE)

(72) Erfinder:
  • HOFMANN, Jan
    35305 Grünberg (DE)
  • BECKER, Jonas
    35649 Bischoffen (DE)
  • STAMMLER, Herbert
    35396 Gießen-Wieseck (DE)

(74) Vertreter: Manitz Finsterwald Patent- und Rechtsanwaltspartnerschaft mbB 
Martin-Greif-Strasse 1
80336 München
80336 München (DE)

   


(54) VAKUUMPUMPE


(57) Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe mit einem Pumpraum, einem mit dem Pumpraum verbundenen Einlass und einem mit dem Pumpraum verbundenen Auslass, wobei in dem Pumpraum ein zu förderndes Gas von dem Einlass zu dem Auslass förderbar ist, wobei an den Einlass eine zu evakuierende Kammer anschließbar ist, wobei die Vakuumpumpe für das Zuführen eines Gasballasts in den Pumpraum ausgebildet ist, wobei die Vakuumpumpe ein Steuergerät umfasst, welches ausgebildet ist, eine Ballastpumpdauer zu berechnen, die angibt, wie lange Gasballast gepumpt werden muss, um im Pumpraum vorhandenes oder vermutetes Wasser auszupumpen, wobei das Steuergerät ferner ausgebildet ist, ein Zuführen des Gasballasts für eine Zuführdauer zu bewirken, wobei die Zuführdauer von der berechneten Ballastpumpdauer abhängt.







Recherchenbericht









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