(19)

(11)

EP 3 918 631 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 08.12.2021  Patentblatt  2021/49 (21) Anmeldenummer: 20703704.5 (22) Anmeldetag:  30.01.2020

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/67(2006.01) C09K 13/08(2006.01) H01L 21/677(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : H01L 21/67086; H01L 21/67751; H01L 21/6776 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2020/052344 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2020/157229 (06.08.2020 Gazette  2020/32)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 31.01.2019 DE 102019102492 (71) Anmelder: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 80686 München (DE)	(72) Erfinder: ZIMMER, Martin 77948 Friesenheim (DE) (74) Vertreter: Fuchs Patentanwälte Partnerschaft mbB  Westhafenplatz 1 60327 Frankfurt am Main 60327 Frankfurt am Main (DE)