(19)

(11)

EP 3 918 634 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 08.12.2021  Patentblatt  2021/49 (21) Anmeldenummer: 20700560.4 (22) Anmeldetag:  08.01.2020

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 27/144(2006.01) H01L 31/101(2006.01) H01L 27/28(2006.01) H01L 31/12(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : H01L 31/1013; H01L 27/1446; H01L 27/322; H01L 51/5271; H01L 27/3227; H01L 31/125 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2020/050284 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2020/156767 (06.08.2020 Gazette  2020/32)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 29.01.2019 DE 102019102176 (71) Anmelder: Senorics GmbH 01067 Dresden (DE)	(72) Erfinder: BRÜCKNER, Robert 01705 Freital (DE) JAHNEL, Matthias 01159 Dresden (DE) LEO, Karl 01219 Dresden (DE) TIMMRECK, Ronny 01217 Dresden (DE) (74) Vertreter: Kailuweit & Uhlemann Patentanwälte Partnerschaft mbB  Bamberger Straße 49 01187 Dresden 01187 Dresden (DE)