(19)

(11)

EP 3 921 862 A1

(12)

(43) Date de publication: 15.12.2021  Bulletin  2021/50 (21) Numéro de dépôt: 20725802.1 (22) Date de dépôt:  02.03.2020

(51) Int. Cl.:  H01L 21/56(2006.01) H01L 25/065(2006.01) H01L 23/31(2006.01) H01L 25/18(2006.01) (52) Classification Coopérative des Brevets (CPC) : H01L 21/56; H01L 25/0657; H01L 25/18; H01L 21/561; H01L 2224/96; H01L 23/3185 (86) Numéro de dépôt: PCT/FR2020/050410 (87) Numéro de publication internationale: WO 2020/183090 (17.09.2020 Gazette  2020/38)

(84) Etats contractants désignés: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Etats d'extension désignés: BA ME Etats de validation désignés: KH MA MD TN (30) Priorité: 12.03.2019 FR 1902486 (71) Demandeur: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives 75015 Paris (FR)	(72) Inventeurs: SUHM, Aurélien 38054 Grenoble Cedex 09 (FR) ARGOUD, Maxime 38054 Grenoble Cedex 09 (FR) (74) Mandataire: Brevalex  95, rue d'Amsterdam 75378 Paris Cedex 8 75378 Paris Cedex 8 (FR)