(19)

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EP 3 935 201 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 12.01.2022  Patentblatt  2022/02 (21) Anmeldenummer: 20710074.4 (22) Anmeldetag:  28.02.2020

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C23C 16/458(2006.01) C30B 25/12(2006.01) H01L 21/687(2006.01) C23C 14/50(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : H01L 21/68735; C30B 25/12; C23C 16/4584; C23C 14/505; C23C 16/4585; H01L 21/68757; H01L 21/68764; H01L 21/68771; H01L 21/68785 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2020/055308 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2020/182495 (17.09.2020 Gazette  2020/38)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 08.03.2019 DE 102019105913 (71) Anmelder: Aixtron SE 52134 Herzogenrath (DE)	(72) Erfinder: RUDA Y WITT, Francisco 52249 Eschweiler (DE) KOLLBERG, Marcel 52146 Würselen (DE) RAUF, Hendrik 52070 Aachen (DE) (74) Vertreter: Grundmann, Dirk et al Rieder & Partner mbB Patentanwälte - Rechtsanwalt Yale-Allee 26 42329 Wuppertal 42329 Wuppertal (DE)