(19)
(11) EP 3 938 324 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
19.01.2022  Patentblatt  2022/03

(21) Anmeldenummer: 20706303.3

(22) Anmeldetag:  27.02.2020
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C03B 19/06(2006.01)
C03C 3/06(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
C03B 2201/42; C03C 2203/30; C03B 2201/30; C03C 2201/34; C03B 19/066; C03C 3/06; C03B 2201/32; C03C 2201/40; C03C 2203/22; C03B 2201/34; C03C 2201/32; C03C 2201/42; C03C 2201/30; C03B 2201/40
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2020/055116
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2020/182479 (17.09.2020 Gazette  2020/38)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 13.03.2019 EP 19162613

(71) Anmelder: Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG
63450 Hanau (DE)

(72) Erfinder:
  • STAMMINGER, Mark
    63450 Hanau (DE)
  • SUCH, Mario
    63450 Hanau (DE)

(74) Vertreter: Staudt, Armin Walter 
Sandeldamm 24a
63450 Hanau
63450 Hanau (DE)

   


(54) BAUTEIL AUS DOTIERTEM QUARZGLAS FÜR DEN EINSATZ IN EINEM PLASMA-UNTERSTÜTZTEN FERTIGUNGSPROZESS SOWIE VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DES BAUTEILS