(19)
(11) EP 3 940 234 A3

(12) EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG

(88) Veröffentlichungstag A3:
13.07.2022  Patentblatt  2022/28

(43) Veröffentlichungstag A2:
19.01.2022  Patentblatt  2022/03

(21) Anmeldenummer: 21199962.8

(22) Anmeldetag:  29.09.2021
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
F04C 18/02(2006.01)
F04B 53/14(2006.01)
 F04C 25/02(2006.01)
F04B 53/16(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
F04C 25/02; F04C 18/0215; F04C 2230/91; F05C 2251/14; F04B 53/162; F04B 53/14; F04B 37/14
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(71) Anmelder: Pfeiffer Vacuum Technology AG
35614 Asslar (DE)

(72) Erfinder:
  • KOCI, Bernd
    35641 Schöffengrund (DE)
  • BECKER, Jonas
    35649 Bischoffen (DE)
  • LATTA, Sebastian
    35578 Wetzlar (DE)

(74) Vertreter: Manitz Finsterwald Patent- und Rechtsanwaltspartnerschaft mbB 
Martin-Greif-Strasse 1
80336 München
80336 München (DE)

   


(54) PUMPE UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER GLEITSCHICHT


(57) Pumpe, insbesondere Vakuumpumpe, umfassend eine Gleitschicht (152), wobei die Gleitschicht eine, insbesondere durch anodische Oxidation in einem säurehaltigen Elektrolyten gebildete, Oxidschicht sowie eine Polymer basierte Versiegelung, insbesondere auf Basis eines fluorhaltigen Polymers, umfasst, und wobei die Oxidschicht zumindest teilweise von der Versiegelung bedeckt und/oder mit der Versiegelung imprägniert ist.
Verfahren zur Herstellung einer Gleitschicht (152), umfassend die folgenden Schritte: a) Erzeugen einer Oxidschicht, insbesondere durch anodische Oxidation, in einem, vorzugsweise Oxalsäure enthaltenden, Elektrolyten; und b) Beschichten der Oxidschicht mit einer Versiegelung.







Recherchenbericht


















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