(19)
(11) EP 3 942 090 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
26.01.2022  Patentblatt  2022/04

(21) Anmeldenummer: 20711162.6

(22) Anmeldetag:  13.03.2020
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 14/52(2006.01)
C23C 16/44(2006.01)
C23C 16/54(2006.01)
 C23C 14/56(2006.01)
C23C 16/52(2006.01)
C23C 16/04(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
C23C 16/52; C23C 16/54; C23C 16/045; C23C 16/4412; C23C 16/4401; C23C 14/564; C23C 14/52
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2020/056748
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2020/187715 (24.09.2020 Gazette  2020/39)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 21.03.2019 DE 102019107237

(71) Anmelder: KHS GmbH
44143 Dortmund (DE)

(72) Erfinder:
  • HERBORT, Michael
    20535 Hamburg (DE)
  • LENGEFELD, Jan
    24620 Bönebüttel (DE)
  • HEIDEMANN, Patrick
    23909 Ratzeburg (DE)

(74) Vertreter: Eisenführ Speiser 
Patentanwälte Rechtsanwälte PartGmbB Johannes-Brahms-Platz 1
20355 Hamburg
20355 Hamburg (DE)

   


(54) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR VAKUUM-BESCHICHTUNG VON OBERFLÄCHEN VON GEGENSTÄNDEN