(19)
(11)
EP 3 942 599 A1
(12)
(43)
Veröffentlichungstag:
26.01.2022
Patentblatt 2022/04
(21)
Anmeldenummer:
20732739.6
(22)
Anmeldetag:
22.05.2020
(51)
Internationale Patentklassifikation (IPC):
H01L
21/48
(2006.01)
H01L
23/473
(2006.01)
(52)
Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
H01L
21/4871
;
H01L
23/473
(86)
Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2020/064316
(87)
Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2020/254064
(
24.12.2020
Gazette 2020/52)
(84)
Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN
(30)
Priorität:
19.06.2019
EP 19181328
(71)
Anmelder:
Siemens Aktiengesellschaft
80333 München (DE)
(72)
Erfinder:
REHME, Olaf
20148 Hamburg (DE)
(54)
VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINES KÜHLKÖRPERS