(19)

(11)

EP 3 942 599 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 26.01.2022  Patentblatt  2022/04 (21) Anmeldenummer: 20732739.6 (22) Anmeldetag:  22.05.2020

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/48(2006.01) H01L 23/473(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : H01L 21/4871; H01L 23/473 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2020/064316 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2020/254064 (24.12.2020 Gazette  2020/52)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 19.06.2019 EP 19181328 (71) Anmelder: Siemens Aktiengesellschaft 80333 München (DE)	(72) Erfinder: REHME, Olaf 20148 Hamburg (DE)