(19)
(11) EP 3 947 771 A1

(12)

(43) Date de publication:
09.02.2022  Bulletin  2022/06

(21) Numéro de dépôt: 20724166.2

(22) Date de dépôt:  13.05.2020
(51) Int. Cl.: 
C23C 16/458(2006.01)
H01J 37/32(2006.01)
 C23C 16/505(2006.01)
C23C 16/513(2006.01)
(52) Classification Coopérative des Brevets (CPC) :
C23C 16/513; C23C 16/4586; H01J 37/32577; C23C 16/505; H01J 37/32779; H01J 37/32715; C23C 16/4583; C23C 16/4585
(86) Numéro de dépôt:
PCT/EP2020/063306
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2020/229529 (19.11.2020 Gazette  2020/47)
(84) Etats contractants désignés:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Etats d'extension désignés:
BA ME
Etats de validation désignés:
KH MA MD TN

(30) Priorité: 15.05.2019 FR 1905073

(71) Demandeur: Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
75015 Paris (FR)

(72) Inventeurs:
  • MONNA, Rémi
    38054 Grenoble Cedex 09 (FR)
  • DESRUES, Thibaut
    38054 Grenoble Cedex 09 (FR)

(74) Mandataire: Brevalex 
95, rue d'Amsterdam
75378 Paris Cedex 8
75378 Paris Cedex 8 (FR)

   


(54) DISPOSITIF DE DEPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR PRESENTANT DES ZONES DE DEPÔT RECONFIGURABLES