(19)
(11) EP 3 966 361 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
16.03.2022  Patentblatt  2022/11

(21) Anmeldenummer: 20725451.7

(22) Anmeldetag:  05.05.2020
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 16/30(2006.01)
C30B 25/10(2006.01)
C23C 16/46(2006.01)
 C23C 16/44(2006.01)
C30B 29/40(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
C23C 16/303; C23C 16/4401; C30B 29/403; C23C 16/46; C30B 25/16
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2020/062356
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2020/225228 (12.11.2020 Gazette  2020/46)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 06.05.2019 DE 102019111598

(71) Anmelder: Aixtron SE
52134 Herzogenrath (DE)

(72) Erfinder:
  • BOYD, Adam
    4721 Kelmis (BE)

(74) Vertreter: Grundmann, Dirk et al
Rieder & Partner mbB Patentanwälte - Rechtsanwalt Yale-Allee 26
42329 Wuppertal
42329 Wuppertal (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM ABSCHEIDEN EINES HALBLEITER-SCHICHTSYSTEMS; WELCHES GALLIUM UND INDIUM ENTHÄLT