(19)
(11) EP 3 966 363 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
16.03.2022  Patentblatt  2022/11

(21) Anmeldenummer: 20724451.8

(22) Anmeldetag:  04.05.2020
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23F 4/00(2006.01)
C23G 5/00(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
C23G 5/00; C23F 4/00
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2020/062348
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2020/225225 (12.11.2020 Gazette  2020/46)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 06.05.2019 DE 102019111681
06.05.2019 DE 102019111684

(71) Anmelder: Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung e.V.
04318 Leipzig (DE)

(72) Erfinder:
  • BAUER, Jens
    04158 Leipzig (DE)
  • ULITSCHKA, Melanie
    95028 Hof (DE)
  • ARNOLD, Thomas
    04155 Leipzig (DE)
  • FROST, Frank
    04824 Brandis / OT Beucha (DE)

(74) Vertreter: Hecht, Jan-David 
Patentanwaltskanzlei Dr. Hecht Ranstädter Steinweg 28
04109 Leipzig
04109 Leipzig (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM GLÄTTEN VON OBERFLÄCHEN