(19)
(11) EP 3 973 258 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
30.03.2022  Patentblatt  2022/13

(21) Anmeldenummer: 20730194.6

(22) Anmeldetag:  15.05.2020
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01J 3/02(2006.01)
 G01J 3/26(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
G01J 3/0291; G01J 3/26; G01J 3/0289; G01J 3/0262; G01J 2003/1213
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2020/063574
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2020/234139 (26.11.2020 Gazette  2020/48)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 21.05.2019 DE 102019207383

(71) Anmelder: Robert Bosch GmbH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • SCHELLING, Christoph
    70619 Stuttgart (DE)
  • KNIES, Sonja
    71277 Rutesheim (DE)

   


(54) INTERFEROMETEREINRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER INTERFEROMETEREINRICHTUNG