(19)
(11) EP 3 976 335 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
06.04.2022  Patentblatt  2022/14

(21) Anmeldenummer: 20722431.2

(22) Anmeldetag:  29.04.2020
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
B28D 5/04(2006.01)
B23D 57/00(2006.01)
 B28D 5/00(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
B28D 5/045; B28D 5/0076; B23D 57/0053
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2020/061893
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2020/239348 (03.12.2020 Gazette  2020/49)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 27.05.2019 DE 102019207719

(71) Anmelder: Siltronic AG
81677 München (DE)

(72) Erfinder:
  • PIETSCH, Georg
    84489 Burghausen (DE)
  • WIESNER, Peter
    84367 Reut (DE)

(74) Vertreter: Staudacher, Wolfgang 
Siltronic AG Intellectual Property -LP 244 Johannes-Hess-Str. 24
84489 Burghausen
84489 Burghausen (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM ABTRENNEN EINER VIELZAHL VON SCHEIBEN VON WERKSTÜCKEN WÄHREND EINER ANZAHL VON ABTRENNVORGÄNGEN MITTELS EINER DRAHTSÄGE UND HALBLEITERSCHEIBE AUS EINKRISTALLINEM SILIZIUM